FPC补强/贴补强等离子表面处理器 国华GH-60等离子体表面清洗系统标准配置表 机台名称 FPC补强/贴补强等离子表面处理器 机台型号 GH-60 机台用途 气体通入,不同组合用于不同工艺制造,可用于高频板PTFE类、软硬结合板、多层软板等除胶渣等制造工艺,柔性板化金前后清洗、打线邦定前清洗等处理,SMT前清洗等 技术参数 备注 1 机台整机规格 1000mm(W)×960mm(D)× 1650mm(H) 2 真空室规格 进口铝400mm(W)× 430mm(H)× 400mm(D) 3 电极板规格 进口铝384(W)× 317(D)mm 4 单层有效处理区尺寸 344(W)× 277(D)mm 5 真空电极结构 水平电极板6层, 处理5层工件 6 真空泵系统 韩国优成 7 PLC自动控制系统硬件 OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制) 日本欧姆龙/西门子 8 人机工控系统 触摸屏式全中文界面 9 温度控制系统 日本欧姆龙OMRON温度传感模块,PID闭环控制,温度可控 10 真空测定系统 皮拉尼电阻式真空计 日本爱发科 11 真空供气系统 Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路 进口优质不锈钢 12 真空排气系统 全不锈钢管路+波纹管 进口优质不锈钢 13 破真空系统 **自动开合启动 14 气体控制系统 电磁阀控制 日本CKD 15 气体计量系统 2路精确质量流量控制计:MFC SevenStar 16 等离子发生器 额定功率:0-500W,13.56MHZ全自动匹配(国华*) 17 其他组件 国内外**品牌元器件 18 机台总重 约400kg 19 额定功率 额定功率 4KW 20 机台供电 AC-380V-50Hz,三相五线 21 单次处理时间 10-60分钟不等(根据产品特征,时间设定不同) 22 工作真空度 0.15~0.3Torr (可根据要求设定,可恒定真空度) 23 真空泵极限压力 5pa以下 24 抽真空时间 抽到工作真空≤180秒 25 破真空时间 ≤60秒 26 供气方式 电磁阀式 27 流量计调节范围 2路独立MFC 0-300sccm(毫升/分钟), 28 操作方式 人工取放工件,一键启动自动控制