等离子清洗/刻蚀机GH-216

 1、产品规格
等离子清洗/刻蚀机GH-216系统标准配置表
机台名称	等离子体表面清洗系统
机台型号	GH-216
机台用途	5种气体通入，不同组合用于不同工艺制造，可用于高频板PTFE类、软硬结合板、多层软板等除胶渣等制造工艺，柔性板化金前后清洗、打线邦定前清洗等处理，SMT前清洗等
技术参数	备注
1	机台整机规格	1450mm(W)×1720mm(H)×1300 mm(D)	　
2	真空室规格	进口铝进口铝 600(W)×600(H)×600(D))mm	　
3	电极板规格	进口铝 582(W)×500D)mm	　
4	单层有效处理区尺寸	530(W)× 450D)mm	
5	真空电极结构	水平电极板10层, 处理9层工件	　
	较板间距/上较板到托架	51mm/32.5mm	
6	真空泵系统	真空泵组韩国优成	　
7	PLC自动控制系统硬件	OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制）	日本欧姆龙/西门子
8	人机工控系统	触摸屏式全中文界面	　
9	温度控制系统	OMRON/SIEMENS温度传感模块，PID闭环控制，温度可控	　
10	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计	日本爱发科
11	真空供气系统	Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路	进口优质不锈钢
12	真空排气系统	全不锈钢管路+波纹管	进口优质不锈钢
13	破真空系统	**自动开合启动	　
14	气体控制系统	电磁阀控制	日本CKD
15	气体计量系统	2路精确质量流量控制计：MFC	SevenStar
16	等离子发生器	额定功率：0-1000W，射频全自动匹配（国华*）	　
17	其他组件	国内外**品牌元器件	　
18	机台总重	约600kg	　
19	额定功率	额定功率 4.5KW	　
20	机台供电	 AC-380V-50Hz，三相五线	　
21	单次处理时间	10-60分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）	　
22	工作真空度	0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度）	　
23	真空泵极限压力	5pa以下	　
24	抽真空时间	抽到工作真空≤180秒	　
25	破真空时间	≤60秒	　
26	供气方式	电磁阀式	　
27	流量计调节范围	2路独立MFC  0-500sccm（毫升/分钟）,      	　
28	操作方式	人工取放工件，一键启动自动控制	　
电源需求	AC380V，50/60Hz，三相五线  5KW
场地需求	设备占地1000*960，需要预留操作空间，建议2500*2200以上
压缩空气要求	0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排风	≥1立方/分钟，*尾气处理管道即可、直径50MM
系统环境温度要求	≤30℃（室温较佳）
工艺气体要求	0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；
H2=99.99%；Ar2=99.99%   设备配6MM气管快接  （ 若使用方使用气瓶需要配减压阀）