国华RTR2000L-W500等离子清洗/刻蚀机卷材除胶、清洁等工艺

  二、产品规格



国华RTR2000L-W500系列等离子体表面清洗系统标准配置表
机台名称	等离子体表面清洗系统
机台型号	RTR2000L-W500
机台用途	5种气体通入，不同组合用于不同工艺制造，用于卷材的除胶、清洁等工艺
技术参数	备注
1	机台整机规格	 8000（W)×3000(D)×1650(H) mm 	　
2	真空室特点	分为收料真空室、放料真空室、等离子处理真空室	　
3	电极板规格	进口铝1200(W)×600(D)mm	　
4	处理宽幅	100～500mm（W)	
5	真空电极结构	收放板过程中**SMA处理	　
6	真空泵系统	汉中干式泵组	　
7	PLC自动控制系统硬件	OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制）	日本欧姆龙/西门子
8	人机工控系统	触摸屏式全中文界面	　
9	变频控制系统	PID闭环控制，真空度可维持	　
10	机台冷却系统	采用内部独立中通冰水循环冷却系统	　
11	温度控制系统	日本欧姆龙OMRON温度传感模块，PID闭环控制，温度可控	　
12　	冰水机	5.0P双泵	　
13	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计	日本爱发科
14	真空供气系统	Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路	进口优质不锈钢
15	真空排气系统	全不锈钢管路+波纹管	进口优质不锈钢
16	破真空系统	**自动开合启动	　
17	气体控制系统	电磁阀控制	日本CKD
18	气体计量系统	5路精确质量流量控制计：MFC	SevenStar
19	等离子发生器	额定功率：0-20KW，全自动匹配	　
20	其他组件	国内外**品牌元器件	　
21	机台总重	约2600kg	　
22	额定功率	额定功率 30KW	　
23	机台供电	 AC-380V-50Hz，三相五线	　
24	腔体容积	进口铝	　
25	张力控制系统	张力传感器+控制器+磁粉刹车	　
26	速度控制系统	速度传感器+控制器+日本安川变频器	
27	纠偏系统	意大利ST纠偏传感器+控制器+驱动器	　
28	工作真空度	0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度）	　
29	真空泵极限压力	5pa以下	　
30	抽真空时间	抽到工作真空≤180秒	　
31	破真空时间	≤60秒	　
32	供气方式	电磁阀式	　
33	流量计调节范围	2路独立MFC，N2和CF4，0-1000sccm（毫升/分钟）,      O2,0-3000sccm（毫升/分钟）	　
34　	温度控制调节范围	5匹速冷，30-80℃恒定可调	　
35	操作方式	人工取放工件，一键启动自动控制	　
电源需求	AC380V，50/60Hz，三相五线  60KW
压缩空气要求	0.5～0.8MPa，干燥
循环冷却水用量	约200L 纯水
真空泵排风	≥3立方/分钟，*尾气处理管道即可、直径50MM
冰水机抽风	≥2立方/分钟，*尾气处理管道即可、直径400MM
系统环境温度要求	≤30℃（室温较佳）
工艺气体要求	0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；
H2=99.99%；Ar2=99.99%
场地需求	大于9000*5000*2500
 我们倡导技术创新，充分发挥新技术在企业经营中的主导作用，以满足客户的个性化需求为己任，为**客户提供与等离子处理系统相关技术的支持与服务，致力于成为国际良好的行业成员者！